Mikro/Nano Aygıt Üretim Laboratuvarı
| Laboratuvar İsmi | Temiz Oda Laboratuvarı |
| Laboratuvar Sorumlusu |
Prof. Dr. Ahmet Yavuz Oral Dr. Şafak Gök |
| İlgili Bölüm | Nanoteknoloji Enstitüsü |
| Adres | Gebze Teknik Üniversitesi Nanoteknoloji Enstitüsü 41400 Gebze/KOCAELİ |
| Genel Bilgi |
Temiz Oda: Hava parçacık konsantrasyonunun, ısı, nem ve basınç gibi diğer ilgili parametrelerin gerektiği şekilde kontrol edildiği alandır. |
| Laboratuvar Fotoğrafı |  |
| Yapılan Uygulamalar |
* Lazer litografi ile 1 mikrometre çözünürlükte maske hazırlama. * Lazer litografi ile 1 mikrometre çözünürlükte desenleri direk alttaş üzerine yazdırma. * MJB4 mask aligner ile fotorezist kaplı alttaş üzerine desen oluşturma. * Alttaş üzerine organik ve inorganik kaplama. * Kimyasal yöntemlerle yüzey temizleme. |
| Cihazların listesi |
* HEIDELBERG - dwl66fs lazer litografi sistemi * SUSS - MJB4 Maske hizalama ve alttaş üzerine desen baskı sistemi * Nikon- eclipse LV150- 100x zoom mikroskop * Brewer science – Cee 200x spin kaplama cihazı * Stuart - sd300 digital hotplate * Bandelin - Sonorex- ultrasonik banyo |
| Üretilen Projeler |
Tübitak BİDEB 2232 ve ARDEB projeleri. |
