Page 53 - 2022 FBE-LAS Özet Kitapçığı

LİSANSÜSTÜ ARAŞTIRMALAR SEMPOZYUMU 2022

Yüzey Akustik Dalga Sensörü Uygulamaları için ZnO Nano Yapıların Üretimi ve
Karakterizasyonu

Nihat POLAT*, Alp KILIÇ, Onur ALEV, Zafer Ziya ÖZTÜRK, Serkan BÜYÜKKÖSE

Gebze Teknik Üniversitesi, Fizik Bölümü Sensör Laboratuvarı, 41400,Gebze- Kocaeli

ÖZET

Nanoyapılı ZnO malzemeler elektronik, optik ve fotonik performansları ile bilim
dünyasının yoğun ilgisini çekmektedir. ZnO nanoyapılar fotonik kristaller, fotodedektörler,
fotodiyotlar, gaz sensörleri, bataryalar ve güneş pilleri gibi yüksek teknoloji uygulamalarında
yaygın bir şekilde kullanım alanı bulmaktadır. Yüzey Akustik Dalga (SAW) tabanlı sensörler
ZnO malzemelerin yoğun olarak kullanıldığı bir alandır. SAW teknolojisi moleküler düzeyde
kütle değişimlerinin hassas ölçülebildiği bir çeşit terazi olarak da adlandırılabilir. SAW
transduserlerın yüzeyine ZnO metal oksit nano yapıların oluşturulması, oluşturulan bu yapıların
SAW transduserin elektriksel özellerini nasıl değiştirdiğinin belirlenmesi ve gaz algılama
özelliklerinin incelenmesi son yıllarda sıklıkla araştırılmaktadır.
Bu çalışma kapsamında, SAW sensör platformlarında kullanılmak üzere LiNbO3
piezoelektrik altlıklar üzerine nano yapılı ZnO algılayıcı katmanlar üretilerek morfolojik ve yapısal
karakterizasyonları incelenmiştir. ZnO nano yapıları üretmek için spin kaplama ve hidrotermal
yöntem kullanılmıştır. Hidrotermal yöntemde sıcaklık, süre, hidrotermal çözeltisinin molaritesi
gibi deneysel değişkenler elde edilen nano yapılar üzerinde doğrudan etki etmektedir. Farklı
molaritede hidrotermal çözeltiler kullanılarak üretilen nano yapılı ZnO algılayıcı katmanların
yüzey morfolojileri, SAW sensör platfromlarında kullanıma en uygun hale getirmek için
araştırılmıştır.
Anahtar Kelimeler: ZnO, SAW sensör, metal oksit, nano yapı, uçucu organik bileşik.

52