Prof. Dr. Fikret YILDIZ

Temiz Oda: Hava parçacık konsantrasyonunun, ısı, nem ve basınç gibi diğer ilgili parametrelerin gerektiği şekilde kontrol edildiği alandır.

* Lazer litografi ile 1 mikrometre çözünürlükte maske hazırlama.

* Lazer litografi ile 1 mikrometre çözünürlükte desenleri direk alttaş üzerine yazdırma.

* MJB4 mask aligner ile fotorezist kaplı alttaş üzerine desen oluşturma.

* Alttaş üzerine organik ve inorganik kaplama.

* Kimyasal yöntemlerle yüzey temizleme.

* HEIDELBERG - dwl66fs lazer litografi sistemi

* SUSS - MJB4 Maske hizalama ve alttaş üzerine desen baskı sistemi

* Nikon- eclipse LV150- 100x zoom mikroskop

* Brewer science – Cee 200x spin kaplama cihazı

* Stuart - sd300 digital hotplate

* Bandelin - Sonorex- ultrasonik banyo

Tübitak BİDEB 2232 ve ARDEB projeleri.