Yüzey Profilometresi (Veeco Dektak 8 Profilometer)

Genel olarak katı haldeki malzemelerin yüzey pürüzlülüğünü, yüzeye temas eden (mekanik profilometre) farklı çaplardaki elmas ucun, numune yüzeyinde hareket etmesi vasıtasıyla ölçen cihazdır. Numune yüzeyine temas eden hassas uç 7A ile 1 mm arası hassasiyete sahiptir. AFM’nin endüstriyel bazda çalışan versiyonu olup, AFM’ye kıyasla çok daha büyük alanları tarayabilir. Tepe ve yan olmak üzere iki tip kamerası mevcuttur. Dönme hareketi yapan tablası ile incelenecek yüzey kolaylıkla istenen pozisyonda incelenebilir.

Başlıca özellikleri:

• 2 boyutta çizgisel yüzey pürüzlülüğü ölçme,

• 3 boyutta yüzey topografyası yardımıyla ortalama yüzey pürüzlülüğü ölçme ve yüzey haritasını çıkarabilme,

• İnce filmlerin kalınlığını, derinliğini ve gerilimlerini ölçme,

• Aşınma, çizik testi ve GDOES izlerinin derinlik, alan ve hacim gibi hesaplarını yapabilmesi başlıca özellikleridir.

Teknik Özellikler:

Measurement Technique: Stylus profilometry

Sample Viewing: 70x (low mag) and 280x(high mag)

Stylus Downforce: 0.04mg to 15mg

Styus Options: 0.2um (currently installed) and 2.5um

Scan Length: 50mm (200mm with software stitching)

Max. Sample Thickness: 24.5mm

Sample Size: approx. 15mm x 15mm (min) up to 200mm (max)

Vertical Range: up to 1mm

Vertical Resolution: approx. 15nm