Temiz Oda Laboratuvarı

Laboratuvar İsmi  Temiz Oda Laboratuvarı
Laboratuvar Sorumlusu

Doç. Dr. Numan AKDOĞAN

İlgili Bölüm Fizik Bölümü
Telefon 0262 605 13 54
Adres  Gebze Teknik Üniversitesi Nanoteknoloji Enstitüsü 41400 Gebze/KOCAELİ
Genel Bilgi

Temiz Oda: Hava parçacık konsantrasyonunun, ısı, nem ve basınç gibi diğer ilgili parametrelerin gerektiği şekilde kontrol edildiği alandır.

Laboratuvar Çalışanları

Dr. Şafak Gök

Dr. Erdem Demirci

Dr. Mustafa Öztürk

Hasan Pişkin

Laboratuvar Fotoğrafı  
Yapılan Uygulamalar

* Lazer litografi ile 1 mikrometre çözünürlükte maske hazırlama.

* Lazer litografi ile 1 mikrometre çözünürlükte desenleri direk alttaş üzerine yazdırma.

* MJB4 mask aligner ile fotorezist kaplı alttaş üzerine desen oluşturma.

* Alttaş üzerine organik ve inorganik kaplama.

* Kimyasal yöntemlerle yüzey temizleme.

Cihazların listesi

* HEIDELBERG - dwl66fs lazer litografi sistemi

* SUSS - MJB4 Maske hizalama ve alttaş üzerine desen baskı sistemi

* Nikon- eclipse LV150- 100x zoom mikroskop

* Brewer science – Cee 200x spin kaplama cihazı

* Stuart - sd300 digital hotplate

* Bandelin - Sonorex- ultrasonik banyo

Üretilen Projeler

Tübitak BİDEB 2232 ve ARDEB projeleri.